
镜外壳的声音,在死寂的车间里显得格外突兀。
主屏下方,那一抹针尖大小的暗红色热斑,在0.5微米的晶格边缘缓缓晕开,像是一块洁白丝绸上渗出的血。
“红斑……”
李副部长猛地凑近,呼吸喷在屏幕上,带起一层薄雾。
“是漏电短路,线宽太窄,现有的化学湿法药水只要一淋下去,电路会瞬间崩塌熔断。”
专家组组长嗓子嘶哑,颓然地放下记录本,整个人像老了十岁。
“这片晶圆,废了。”
“谁说要用湿法了?”
程美丽抬眼,目光越过屏幕,冷冷地扫向车间角落。
那里,一台覆盖着厚重油布的旧机器,正像个铁疙瘩一样缩在阴影里。
“启动等离子体干法蚀刻。”
“不行!”
...
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